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测量•检测领域的世界级Leading Company
白光干涉仪(WSI)能测量柔软、正常粗糙表面的表面高度，
与NA无关，提供0.5纳米垂直分辨率。不损伤垂直分辨率，可使用所有倍率。
相位差干涉仪(PSI)提供0.1纳米的垂直分辨率。
因此，使用非常低的倍率(2.5X)能提高高度分辨率并获得较大的FOV。
按照ISO国际标准机构规定的规格，以图表、
表格、2D•3D图像的形式大面积显示粗糙度、高度及幅度等各类数据。
一般地，天然和制造表面以多种程度的结构、
波纹形状及粗糙程度(2D•3D)构成基本形状。
用户可用临界尺寸、阶梯高度、峰谷比、
体积或倾斜度等参数来表示这些数据。
Nano System利用从ISO、ASME、
EUR等多家国际标准机构获得的30多个粗糙度参数来评估Sample的粗糙度。
Nano System遵守ISO 25178。
可选择高度、空间、混合、功能及容积参数等完美的粗糙度参数。
按照ISO 4287规格，提供2D测量分析数据和参数
Nano System不仅提供粗糙度数据，还提供距离、高度、沟度、
峰值分布度、分形分析、均质性、Abbott曲线等多种资料，帮助管理数据。
Provides a variety of profiles
Dimple
Trace
Pad
Metal mask
MCP unit
Glass defect
OLED pattern
Bump on BGA
Laser marking on wafer
Engineering·Optical·Precision Parts
Copper roughness
Ball end mill
COG decap
MEMS
Nuclear pipe
MLCC
Micro lenses
Film scratch
Organic pattern
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